1、計數(shù)掃描法試驗過程描述：計數(shù)掃描檢漏試驗通過粒子計數(shù)來檢測過濾元件（過濾器）是否存在局部滲漏缺陷。計數(shù)掃描檢漏試驗中，被試過濾器被安裝在試驗臺上，在額定風量下進行試驗。被測過濾器應首先完成額定風量下的阻力測試并被清吹后進行本項試驗。測試風道系統(tǒng)中應設(shè)有足夠長的混合段，使得被引入的測試氣溶膠與試驗空氣充分混合，進而實現(xiàn)氣溶膠在掃描風道截面上的均勻分布。過濾器廠商可根據(jù)自身情況或與用戶之間的協(xié)議，選擇對過濾器進行定性檢漏試驗或者定量檢漏試驗（局部透過率試驗）。二者的試驗裝置基本一致，區(qū)別在于對試驗參數(shù)以及對滲漏缺陷的判定方式。
計數(shù)掃描檢漏試驗中，可通過自動行走機構(gòu)或者手動對被測過濾器出風側(cè)的粒子濃度場進行掃描檢測，并判斷所測區(qū)域是否存在滲漏缺陷。如有滲漏，則應記錄滲漏處的坐標位置。在對被測過濾器出風側(cè)進行掃描檢漏時，應采用本標準所描述的采樣頭配合粒子計數(shù)器進行。試驗過程中，探頭在靠近過濾器出風側(cè)的位置以確定的速度移動，掃描中探頭所覆蓋的軌跡間應無空隙或略有重疊。當采用多個并排的測量系統(tǒng)（多個探頭與多臺粒子計數(shù)器聯(lián)合使用）同時測量時，可以縮短掃描的時間。根據(jù)探頭坐標以及探頭移動速度，在掃描過程中通過對粒子濃度進行測定，就可以對可能存在的滲漏進行定位。而后將探頭對該處及鄰近區(qū)域進行重復試驗，以判斷該處是否存在滲漏缺陷。
當采用定量檢漏試驗時，可通過過濾器下游的局部透過率平均值來計算該過濾器的計數(shù)法效率。計數(shù)掃描檢漏試驗可使用單分散相或多分散相氣溶膠，但測試氣溶膠粒徑分布應滿足本標準規(guī)定。當采用單分散相氣溶膠時，可使用總計數(shù)法，檢測儀器為凝結(jié)核計數(shù)器（CNC）或光學粒子計數(shù)器（OPC）。當采用多分散相氣溶膠時，應使用光學粒子計數(shù)器進行檢測。
2、試驗裝置
（1）試驗裝置的構(gòu)成：此裝置既適用于單分散相氣溶膠檢漏試驗也適用于多分散相氣溶膠試驗，二者之間的區(qū)別僅僅在于測試氣溶膠的發(fā)生技術(shù)和測量方法。
（2）試驗風道系統(tǒng)
2.1 試驗空氣的調(diào)節(jié)：試驗空氣在與試驗氣溶膠混合前應經(jīng)過預處理，應配置合適的預過濾器（如選用性能符合國標規(guī)定的粗效、中效以及過濾器）來保證其潔凈度（應至少為ISO7 級）。
2.2 風量調(diào)節(jié)：試驗風道應有風量調(diào)節(jié)措施（如改變風機轉(zhuǎn)速或者使用風量調(diào)節(jié)閥），測試過程中，試驗風量應能維持在被測過濾器額定風量的±3%以內(nèi)。
2.3 風量測試：風量測量應采用標準或經(jīng)過標定的方法（如利用孔板、噴嘴、文丘里管的壓降測試風量）。zui大測量誤差不應超過測量值的5%。
2.4 氣溶膠混合風道：試驗風道中應設(shè)置混合段，混合段的長度應能保證測試氣溶膠在測試段達到足夠的濃度均勻性。在上游風道緊靠被測過濾器的斷面上，至少布置9 個均勻分布的測點上進行測量，其中任一點的氣溶膠濃度不得偏離平均值超過10%。
2.5 被測過濾器安裝臺：被測過濾器的安裝機構(gòu)應能保證過濾器的可靠密封。
2.6 被測過濾器：用于滲漏試驗的過濾器不應存在任何可見損傷或其他異常，過濾器可以按要求裝在試驗臺上并有良好密封。試驗過程中，過濾器的溫度應與試驗空氣的溫度相同。被測過濾器的搬運與裝卸要小心，被試過濾器上應有清晰的*性標識，凈化設(shè)備標識內(nèi)容應包括：a、過濾器的名稱；b、過濾器風向標記。
2.7 壓差測量孔：壓差測量孔所能測出的壓差值為被試過濾器上游氣流測量斷面靜壓平均值與周圍環(huán)境空氣的壓差，上游壓力測量斷面應位于流速均勻的區(qū)域。
3、測試氣溶膠
（1）測試氣溶膠的種類：用于以及超過濾器計數(shù)掃描檢漏的氣溶膠可以為DOP，DEHS，PSL等，但不局限于這些物質(zhì)。所發(fā)生的氣溶膠可以為單分散相氣溶膠也可以為多分散相氣溶膠，但無論發(fā)生哪種氣溶膠，應保證所發(fā)生氣溶膠的濃度以及粒徑分布在測試過程中保持穩(wěn)定。當采用單分散相氣溶膠進行計數(shù)掃描檢漏試驗時，測試氣溶膠的計數(shù)中徑與濾料MPPS的偏差不應超過10%。當采用多分散相氣溶膠進行檢漏試驗時，測試氣溶膠的計數(shù)中徑與濾料MPPS 的偏差可以達到50%。當無法確知濾料的MPPS 時，由過濾器買賣雙方協(xié)商確認所采用的氣溶膠計數(shù)中值直徑。
（2）測試氣溶膠的濃度：為了獲得具有統(tǒng)計意義的結(jié)果，在上游濃度不超過計數(shù)器濃度測量上限的前提下，下游的采樣粒子數(shù)應足夠大。當進行定量分析時，依據(jù)被測過濾器的效率以及所需下游zui小計數(shù)（不低于10 粒/采樣周期）確定，但不應超過1×107粒/cm3。當進行定性分析時，對于過濾器，以大于等于0.5μm 的微粒為準，上游氣溶膠濃度須大于等于3×104粒/采樣周期；當檢測超過濾器時，以大于等于0.1μm的微粒為準，氣溶膠濃度需大于等于3×105粒/采樣周期期。
（3）氣溶膠測試儀器：當選用單分散相氣溶膠進行計數(shù)掃描檢漏試驗時，既可選擇光學粒子計數(shù)器，也可以選擇凝結(jié)核粒子計數(shù)器對被測過濾器下游粒子濃度進行測量。工作不正常的氣溶膠發(fā)生器可能產(chǎn)生大量粒徑遠小于濾料MPPS 的粒子，而這些粒子都將被凝結(jié)核計數(shù)器統(tǒng)計為正常粒子，這將導致實驗結(jié)果的誤差。因此，但當選用凝結(jié)核粒子計數(shù)器進行測量時，應保證不會出現(xiàn)這種情況。當選用多分散相氣溶膠進行檢漏試驗時，應選用離散式光散射粒子計數(shù)器（如：光學粒子計數(shù)器）對被測過濾器下游進行測試。當選用多分散相氣溶膠進行檢漏試驗時，應選用離散式光散射粒子計數(shù)器（如：光學粒子計數(shù)器）對被測過濾器下游進行測試。
4、掃描系統(tǒng)：凈化設(shè)備過濾器生產(chǎn)商可以選擇自動掃描機構(gòu)，也可以選擇人工手動掃描的方式進行過濾器掃描檢漏試驗。但是，手動掃描方式無法保證掃描過程的平穩(wěn)和均勻，而對于掃描過程中粒子數(shù)的記錄也比較麻煩。因而，手動掃描不宜用于需對測量結(jié)果進行定量分析的場合，本標準的介紹將以自動掃描裝置為主。
（1）下游采樣探頭：采樣探頭的開口面積為8～10cm2，形狀宜為正方形。當采用矩形探頭時，邊長之比不應超過15：1。選取探頭的采樣流量時，應保證探頭開口處流速與過濾器面風速相差不大于25%。使用并列的幾只探頭（幾臺計數(shù)器并用）可縮短測量時間。探頭距過濾器出風表面10～50mm。
（2）探頭臂：下游采樣探頭固定在一個可移動的探頭臂上。
（3）氣溶膠輸送管：下游的氣溶膠輸送管應盡快且無損失地將粒子送入粒子計數(shù)器的測量室。因此，輸送管應盡可能短，沿途無死彎。管路材料表面光滑，不散發(fā)粒子。
（4）掃描行走機構(gòu)：掃描行走機構(gòu)應包括驅(qū)動、導向與控制，他們使探頭以垂直于氣流的方向勻速移動。探頭的移動速度可調(diào)，但zui高不應超過8cm/s。實際行走速度與設(shè)定值的偏離不應超過10%。掃描機構(gòu)可以測定探頭移動過程中的坐標及對漏點進行定位以及標記，探頭機構(gòu)在過濾器下游斷面任一點的回位精度宜至少為1mm。
（5）隔離措施：被測過濾器的下游應與周圍環(huán)境的污濁空氣隔離。此外，對過濾器邊緣漏點定位時也需要隔離。隔離措施的實例包括：用足夠長度的圍擋包圍被試過濾器。