1、潔凈室的局部排風(fēng)
1）潔凈廠房?jī)?nèi)的各種生產(chǎn)過程中不可避免的有各類粉塵、有害氣體、有害物質(zhì)的產(chǎn)生。防止它們?cè)跐崈羰覂?nèi)擴(kuò)散或造成污染的有效方法是在產(chǎn)生處采取局部排風(fēng)措施及時(shí)有效的將污染物排至室外。為此，GB50073--2013《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》規(guī)定：潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備，應(yīng)設(shè)置局部排風(fēng)裝置。應(yīng)根據(jù)各類工藝設(shè)備產(chǎn)生的粉塵、有害氣體和有害物質(zhì)的性質(zhì)、濃度等因素選擇設(shè)置合理的局部排風(fēng)裝置。以下情況的局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)單獨(dú)設(shè)置：
a.排風(fēng)介質(zhì)混合后能產(chǎn)生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險(xiǎn)性和發(fā)生交叉污染。
b.排風(fēng)介質(zhì)中含有有毒與無毒物質(zhì)，且毒性相差非常大。
c.同時(shí)存在易燃、易爆與一般排風(fēng)。
2）在設(shè)計(jì)潔凈室的排風(fēng)系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)采取以下措施：
a.為防止在潔凈室空調(diào)系統(tǒng)停止運(yùn)行時(shí)，室外空氣倒灌入室內(nèi)，引起污染和積塵，應(yīng)采取防倒灌措施。工程常用的防倒灌措施有：
①設(shè)置中效空氣過濾器，這種方式結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，維護(hù)方便；
②采用止回閥，使用方便，但密封性較差；
③采用密閉閥，密閉性好，但結(jié)構(gòu)復(fù)雜，管理不便；
④采用自控裝置。
b.含有易燃、易爆局都排風(fēng)系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)采用與排出物質(zhì)相適應(yīng)的防火、防爆措施。
c.排風(fēng)介質(zhì)中有害物濃度及排放量超過國(guó)家或地區(qū)有害物排放濃度及排放量規(guī)定時(shí)，應(yīng)進(jìn)行無害處理，達(dá)標(biāo)后才能排入大氣。
d.對(duì)含有水蒸氣和凝結(jié)性物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)，排風(fēng)口應(yīng)有一定坡度，以便及時(shí)排出凝結(jié)液。
潔凈廠房?jī)?nèi)的換鞋、存外衣、洗浴、廁所和淋浴等產(chǎn)生輔助房間，應(yīng)采取通風(fēng)措施，其室內(nèi)的靜壓值，應(yīng)低于潔凈區(qū)。
潔凈室應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置事故排風(fēng)系統(tǒng)。事故排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)自動(dòng)和手動(dòng)控制開關(guān)，手動(dòng)控制開關(guān)應(yīng)分別設(shè)在潔凈室及潔凈室外便于操作的地點(diǎn)。一般對(duì)于有可能散發(fā)有害氣體或易燃，氣體或易燃、易爆氣體的潔凈室(區(qū))應(yīng)設(shè)事故排風(fēng)裝置。
2、排風(fēng)裝置的分類及處理設(shè)備
在微電子生產(chǎn)用潔凈室和藥品生產(chǎn)用潔凈室中，常常會(huì)在產(chǎn)品生產(chǎn)過程中使用或產(chǎn)生某些特定的酸性或堿性物質(zhì)、有機(jī)溶劑和氣體；在致敏性藥物、某些甾體藥物、高活性藥物和有毒性藥物生產(chǎn)過程中還會(huì)有相應(yīng)的有害物質(zhì)排出或滲入潔凈室內(nèi)。對(duì)于上述潔凈室，在可能排出各種有害物質(zhì)、氣體或粉塵的生產(chǎn)工藝設(shè)備或工序處應(yīng)設(shè)置局部排風(fēng)裝置或采取全室排風(fēng)裝置。按生產(chǎn)工藝過程排出的廢氣的種類，可將排風(fēng)裝置（系統(tǒng)）大體劃分為以下種類型：
（1）一般排風(fēng)系統(tǒng)
在生產(chǎn)輔助用室和生活用室，如值班室、衛(wèi)生間等排出的一般廢氣，大多數(shù)情況下不需要進(jìn)行特殊處理即可直接排入大氣。
（2）有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)
在產(chǎn)品生產(chǎn)中使用某些有機(jī)物質(zhì)、溶劑作為原輔材科或清洗劑時(shí)，都將會(huì)在相關(guān)的場(chǎng)所或設(shè)備處散發(fā)有機(jī)物質(zhì)、溶劑的氣體，對(duì)這類場(chǎng)所或設(shè)備均應(yīng)設(shè)置排風(fēng)裝置。在一般情況下，有機(jī)排風(fēng)系統(tǒng)中的有機(jī)氣體濃度是很低的，若能達(dá)到國(guó)家規(guī)定的大氣排放標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，可直接排入大氣，不需設(shè)置廢氣處理裝置；當(dāng)排風(fēng)系統(tǒng)中有機(jī)氣體濃度超過規(guī)定時(shí)，應(yīng)設(shè)有機(jī)氣體排放裝置，經(jīng)過處理達(dá)標(biāo)后才能排入大氣。有機(jī)氣體排氣的凈化處理方法有活性炭吸附法，吸收法和催化燃燒法等?；钚蕴课椒ㄖ饕糜谥行×髁康牟缓蹓m、膠粘物質(zhì)的苯類和汽油類有機(jī)氣體排氣的處理；吸收法設(shè)備簡(jiǎn)單，耗能低，但吸收效率不高；催化燃燒法主要用于較高濃度的苯類、醇類、脂類和汽油等有機(jī)氣體排氣的處理。有機(jī)氣體排氣處理裝置應(yīng)根據(jù)排風(fēng)系統(tǒng)所含有機(jī)物質(zhì)的品種、濃度等情況選用。
（3）酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)
濕法化學(xué)腐蝕、酸液清洗實(shí)驗(yàn)室內(nèi)均有酸性氣體排出，在這類酸性氣體的排風(fēng)系統(tǒng)通常設(shè)有濕式洗氣吸收塔，處理后排入大氣。實(shí)際設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)根據(jù)酸性氣體的類型、濃度選用合適的吸收液和吸氣塔的形式。
（4）堿性氣體排風(fēng)裝置
若排風(fēng)系統(tǒng)氣體中含有堿性物質(zhì)或排氣中混有堿性化學(xué)試劑時(shí)，與酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)類似，通常采用濕式洗氣吸收塔處理后排入大氣。近年來，由于大氣排放標(biāo)準(zhǔn)越來越嚴(yán)格，含有堿性物質(zhì)（或酸性物質(zhì)）濃度較低的排氣也應(yīng)進(jìn)行凈化處理才能達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)。為此，可采用吸附劑對(duì)堿性排氣（或酸性排氣）進(jìn)行處理達(dá)標(biāo)后再排入大氣。此種吸附劑一般為一次性的，使用后應(yīng)進(jìn)行集中處理，通常作為固體廢棄物在城市垃圾場(chǎng)集中處理。
（5）熱氣體排風(fēng)系統(tǒng)
生產(chǎn)過程中的各種爐子、高溫滅菌設(shè)備等均有熱氣排出，由于排氣溫度較高，有時(shí)可采用熱回收等方式進(jìn)行處理，若排氣量較小或不便進(jìn)行處理時(shí)，可在采取必要的隔熱措施后直接排入大氣。
（6）含粉塵的排風(fēng)系統(tǒng)
產(chǎn)品品種不同，生產(chǎn)工藝過程不同，排氣中的粉塵性質(zhì)也不同。應(yīng)根據(jù)排氣中的粉塵性質(zhì)、濃度選用不同類型的除塵裝置，一般采用布袋除塵器或帶過濾元件的過濾除塵裝置。對(duì)于某些含塵濃度很高的排風(fēng)系統(tǒng)，根據(jù)工藝具體情況，有時(shí)需設(shè)置二級(jí)除塵裝置，先將大部分粉塵去除后再送入布袋除塵或過濾除塵裝置，才能滿足大氣排放標(biāo)準(zhǔn)的要求，從而保證系統(tǒng)穩(wěn)定、經(jīng)濟(jì)的運(yùn)行。
（7）特殊氣體排放系統(tǒng)
在半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)中常常需要使用一些特殊氣體，其中許多特殊氣體屬于易燃易爆、或有毒甚至劇毒、或有腐蝕性的氣體，對(duì)于這類氣體的排放系統(tǒng)，首先應(yīng)按特殊氣體的品種、性質(zhì)進(jìn)行劃分，以防止在排放系統(tǒng)中產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)；其次選用的廢氣處理裝置。特殊氣體排放的處理方法通常有稀釋法、吸收法、催化燃燒法和吸附法等。排放系統(tǒng)的設(shè)備、管道的材料選用必須根據(jù)排氣中的特殊氣體性質(zhì)選擇相應(yīng)的材質(zhì)，以防止與特殊氣體發(fā)生反應(yīng)。
（8）藥品生產(chǎn)中有害、有毒物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)
在生產(chǎn)或分裝青霉素等強(qiáng)制敏性藥物及高活性、有毒性藥物的房間和二類危險(xiǎn)度以上病原體操作區(qū)的排風(fēng)口，應(yīng)安裝過濾器，將這些藥物引起的污染危險(xiǎn)降低至低限度。此類排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)口與其他藥品生產(chǎn)用凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)口應(yīng)相隔一定距離。
3、排風(fēng)系統(tǒng)用材料
潔凈室內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)的處理設(shè)備、風(fēng)管及附件(如密閉閥、調(diào)節(jié)閥和止回閥等)的制作材料、保溫材料和涂料，應(yīng)根據(jù)排出氣體的性質(zhì)所處的空氣環(huán)境等確定。GB 50073-2013《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》中明確規(guī)定，潔凈室的排風(fēng)管、附件以及輔助材料的選擇應(yīng)符合以下要求：
1）排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料。這里所說的不燃材料是各種類型的金屬板材，包括碳鋼、不銹鋼和有色金屬板材，具體選用應(yīng)按排氣的性質(zhì)。
2）排除腐蝕性氣體的風(fēng)管，應(yīng)采用耐腐蝕的難燒材料或難燃材料。這里所說的難燒材料主要是氧指數(shù)≥32的玻璃鋼等。
3）附件、保溫材料、消聲材料和涂料等均采用不燃材料或難燃材料。這里所指的不燃材料主要是巖棉、玻璃棉等；難燃材料主要是氧指數(shù)≥32的橡塑海綿、聚氨酯等。