實(shí)用潔凈室的構(gòu)造形式
實(shí)用潔凈室主要是根據(jù)工藝特點(diǎn)進(jìn)行布置，在滿足使用要求的前提下求得經(jīng)濟(jì)合理，當(dāng)然不外乎以上四種類型的潔凈室進(jìn)行組合。已有典型的構(gòu)造形式如下：
（1）開放式
大面積的單向或非單向流潔凈室。常用于工藝過程對各潔凈區(qū)要求的潔凈度差別不大的，其特點(diǎn)是：
①優(yōu)點(diǎn)：靈活性好，便于調(diào)整和變更，設(shè)計(jì)簡單，空氣處理系統(tǒng)單一。
②缺點(diǎn)：高運(yùn)行費(fèi)用，對大面積的單向流，其回風(fēng)通道所占面積/空間大;防火分隔受限制，安全性差。
（2）套間式
各潔凈區(qū)按工作的工序及潔凈度要求進(jìn)行分隔及連通，并進(jìn)行各區(qū)間的壓差控制，多用于制藥工業(yè)手術(shù)部，亦常把此歸入開放式內(nèi)。
（3）隧道式
是IC工廠潔凈室在80年代末90年代初常較多采用一種形式，是以“線”保護(hù)替代“面”保護(hù)的典型代表。它有二種基本形式：一是把各有關(guān)工藝設(shè)備的關(guān)鍵加工部位（即加工物暴露于周圍空氣中的部位）與設(shè)備的服務(wù)部位加以物理分隔，一般各設(shè)備的關(guān)鍵加工部位都面對布置，置于單向流潔凈區(qū)（潔凈隧道內(nèi)），而設(shè)備的服務(wù)部位置于要求不嚴(yán)的非單向流潔凈區(qū)內(nèi)，以實(shí)現(xiàn)減少單向流潔凈區(qū)的面積；另一種形式是把各工藝設(shè)備的關(guān)鍵加工部位置于非單向流潔凈隧道的罩流層下，其它都同前。其特點(diǎn)是：
①優(yōu)點(diǎn)：把單向流潔凈區(qū)限制到zui??；減少循環(huán)風(fēng)量節(jié)省運(yùn)行費(fèi)用;潔凈隧道的回風(fēng)可回至設(shè)備服務(wù)區(qū)，此區(qū)可作為回風(fēng)道向上回風(fēng)，防火分隔簡單，運(yùn)行安全。
②缺點(diǎn)：設(shè)計(jì)時需要仔細(xì)，較麻煩，靈活性差。
（4）微環(huán)境/隔離裝置+開放式潔凈室
這種形式當(dāng)前制藥工業(yè)已采用較普遍，根據(jù)導(dǎo)投資可節(jié)省10~15%，運(yùn)行費(fèi)用可望節(jié)約40~50%。在IC工廠采用這種形式與其它形式就潔凈室設(shè)施的投資及運(yùn)行費(fèi)用而言，肯定是經(jīng)濟(jì)的，但帶來微環(huán)境的工藝設(shè)備以及自動傳送系統(tǒng)等投資的增加等，其綜合經(jīng)濟(jì)效果如何，存在著不同看法，如亞洲、歐洲采用得較多，而美國則很少采用。由于潔凈室潔凈度要求的降低，隨之帶來潔凈服系統(tǒng)等要求降低而節(jié)省購買費(fèi)及清洗等費(fèi)用亦是可觀的。
（5）模塊式潔凈室
模塊式潔凈室近10年來發(fā)展亦快，隨著FFU的發(fā)展，對模塊式潔凈室靈活、方便性更加體現(xiàn)，一般一天可以安裝完成。模塊式潔凈室一般適宜用于空調(diào)參數(shù)與所處背景環(huán)境基本一致的場合，它的墻、天花等都不用另加保溫材料，目前情況是：滿足潔凈度等級ISO4級及以上；可視的即透明的聚丙烯墻板或消靜電的PVC材料兩種材料。
潔凈室形式的變化都是伴隨工藝發(fā)展和變化現(xiàn)的，以上各種形式，各適用于一定的條件及要求。以IC工廠的潔凈隧道與開放式潔凈室為例，在某些規(guī)模及要求下，開放式的亦還有采用的。